Faruk UNKER, F. Ünker, Erdar KAPLAN, Olkan CUVALCİ, O. Çuvalcı
International Journal of Automotive Engineering and Technologies
23-32
Vacuum Chamber, Atomic layer deposition (ALD), Computational fluid dynamics (CFD), Wafer film, gas mixing / Vakum Odası, Atomik tabaka tortusu (ALD), Hesaplamalı Akışkan Dinamiği (CFD), Levhamsı Film, Gaz Karışımı